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常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中***的主力泵种。旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。伴随真空泵不断向高转速度发展，滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此，要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。

　随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生，普遍有以下规律：

　　泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精1确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵时需要认真制定真空度指标，其次是抽气速率，这样才能zui好地兼顾使用性能和成本。

　　高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。

　　振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。

　　小型真空泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高，有爆1炸性的有毒气体。更不能作为传输泵(即从一个容器抽送到另一个容器)使用。

　　小型真空泵电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。