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检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，

蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。水环式真空泵初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医i药及食品等许多工业部门。按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。

 由于国家加强了对煤矿的安全要求，因而用水环真空泵，特别是大型水环真空泵抽除气体已成为煤矿行业必须的安全要求，真空泵相关下游应用行业保持快速增长，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。